振动平台论文

超精密隔振平台广义预测控制系统仿真分析

一、超精密隔振平台的广义预测控制系统仿真分析（论文文献综述）喻强[1]（2021）在《主动隔振系统的双向复合激励功率流特性与控制策略研究》文中研究指明主动隔振系统是满足光刻机等...